1、氧化效果被按捺
工业烤箱按捺铁的氧化是基于以下两个原因：一方面由于真空度高，氧化介质极稀薄，气—固界面上的氧化反应速度极端缓慢，不会构成可见的氧化膜。另一方面，在真空条件下加热，相当于在保护气氛中加热，按捺了铁的氧化。而且由于复原性气体成分H2、CO的份额上升，即便有微量氧化，构成的氧化膜也会被复原。
2、净化效果
在工业烤箱内氧分压很低的情况下，金属氧化物可分解为亚氧化物，亚氧化物在真空中加热简单升华而挥发，由真空泵抽走。另外，附着在工件外表的油污是碳、氢、氧的化合物，蒸气压较高，在真空条件下加热易挥发或分解，被真空泵抽走，起到净化外表的效果。
3、脱气效果
通常，金属中总会溶解一定量的气体，如H2、O2、N2等，在真空条件下进行热处理，真空度越高，气压越低，温度越高，越有利于扩散到金属外表的气体逸出。
4、蒸腾现象
常压下金属及其合金的蒸腾很少，但是在真空条件下进行热处理，金属外表合金元素的蒸腾有时是很严重的，这将会造成外表合金元素的匮乏，然后改动合金组织，使力学性能下降。为了避免这种现象，可以先将炉内气体抽到较高的真空度，随即充入高纯度氮气或氩气，使炉内气压维持在26.6~200Pa下进行热处理。
在真空中加热，因气体稀薄，在传导、对流、辐射三种传热方式中只以辐射为主，而在600℃以下，辐射效果又很弱小，所以真空中加热速度缓慢。
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